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以便確保二氧化硅價格層的品質(zhì)，能夠采用宏觀經(jīng)濟和外部經(jīng)濟的方式開展檢測。宏觀經(jīng)濟法是用平行面日光燈觀查氧化層表層的品質(zhì)，外部經(jīng)濟可采用化學(xué)腐蝕，隨后根據(jù)光學(xué)顯微鏡開展觀察。下面讓我們一起來來了解下二氧化硅的檢驗方法。
大家發(fā)現(xiàn)二氧化硅對一些殘渣向硅中外擴散能開掩蔽功效，運用這一特性和光刻工藝造就了硅元器件平面工藝。在生產(chǎn)制造中，由于要重復(fù)地開展氧化，因此 怎樣在硅晶體表層生長發(fā)育高品質(zhì)二氧化硅的技術(shù)性，便變成硅平面工藝的基本。
1、比色法：生產(chǎn)制造中發(fā)覺，不一樣厚度的氧化層，展現(xiàn)出不一樣的顏色，伴隨著厚度的提升，顏色從深灰色逐漸變到鮮紅色，當厚度再次提升時，氧化層顏色從藍紫色到鮮紅色規(guī)律性轉(zhuǎn)變，因而大家制取了顏色與厚度中間關(guān)聯(lián)的表，用于粗略估計氧化層厚度。在氧化標準已定，加工工藝平穩(wěn)的狀況下，采用這類方式是簡易、便捷的。
2、另一種測氧化層厚度的方式是雙光干涉法，它是運用氧化層臺階上干涉條紋數(shù)量去求氧化層的厚度，其優(yōu)點是設(shè)備簡單，并且測量準確。
測量氧化層厚度首先要制備氧化層的臺階，在樣照的二氧化硅層上放黑膠或真空泵植物油脂維護一定地區(qū)，隨后放進鹽酸中，將未維護的二氧化硅層浸蝕掉，浸蝕時采用稀釋液的鹽酸實際效果不錯，氧化層的臺階較寬，此外時間不適合太長。浸蝕好之后，用二甲苯或甲苯將黑膠擦下去，在沒有浸蝕二氧化硅層的邊沿處展現(xiàn)一臺階，臺階越寬，顯示信息出的干涉條紋，就越清晰，測量也準確。
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