為了確保二氧化硅層的品質(zhì),能夠選用宏觀經(jīng)濟(jì)和外部經(jīng)濟(jì)的方式開展檢測(cè)。宏觀法是用平行面日光燈觀查氧化層表層的品質(zhì),外部經(jīng)濟(jì)可選用有機(jī)化學(xué)腐蝕,隨后根據(jù)光學(xué)顯微鏡開展觀察。下面介紹一下檢驗(yàn)二氧化硅有哪些方法?
比色法:生產(chǎn)制造中發(fā)覺,不一樣厚度的氧化層,展現(xiàn)出不一樣的顏色,伴隨著厚度的提升,顏色從深灰色逐漸變到鮮紅色,當(dāng)厚度再次提升時(shí),氧化層顏色從藍(lán)紫色到鮮紅色規(guī)律性轉(zhuǎn)變,因而大家制取了顏色與厚度中間關(guān)聯(lián)的表,用于粗略估計(jì)氧化層厚度。在氧化標(biāo)準(zhǔn)已定,加工工藝平穩(wěn)的狀況下,選用這類方式是簡(jiǎn)潔明了、便捷的。
另一種測(cè)氧化層厚度的方式是雙光干預(yù)法,它是運(yùn)用氧化層臺(tái)階上干涉條紋數(shù)量來(lái)求氧化層的厚度,其優(yōu)勢(shì)是機(jī)器設(shè)備簡(jiǎn)潔明了,而且測(cè)量準(zhǔn)確。
測(cè)量氧化層厚度首先要制取氧化層的臺(tái)階,在樣照的二氧化硅層上放黑膠或真空泵植物油脂維護(hù)一定地區(qū),隨后放進(jìn)鹽酸中,將未維護(hù)的二氧化硅層腐蝕掉,腐蝕時(shí)選用稀釋液的鹽酸實(shí)際效果不錯(cuò),氧化層的臺(tái)階較寬,此外時(shí)間不適合太長(zhǎng)。腐蝕好之后,用二甲苯或甲苯將黑膠擦下去,在沒有腐蝕二氧化硅層的邊沿處展現(xiàn)一臺(tái)階,臺(tái)階越寬,顯示信息出的干涉條紋,就越清晰,測(cè)量也準(zhǔn)確。