色偷偷成人网免费视频男人的天堂,avtom影院入口永久在线,亚洲性夜色噜噜噜在线观看,xfplay无码专区亚洲,久久精品午夜一区二区福利,最新国产精品拍自在线观看精品亚洲黄页网站久久,国产亚洲av片亚洲,亚洲国产综合人成综合网站00,免费无遮挡又黄又爽网站

避免二氧化硅層表面缺陷的方法

       氧化層表面造成各種各樣黑斑的關(guān)鍵緣故有下列幾類，一種是硅片表面解決不干凈，殘余著一些拈污的殘?jiān)Ｗ?，高溫下沾附?/span>二氧化硅層的表面，產(chǎn)生部分小黑點(diǎn)，那么避免二氧化硅層表面的缺陷有哪些方法？
　　石英管長(zhǎng)期性應(yīng)用，處于高溫地區(qū)的石英管造成乳白色塑料薄膜，這類乳白色塑料薄膜的構(gòu)造較為疏松，大氣旋吹開或?qū)嶋H操作時(shí)振動(dòng)就會(huì)導(dǎo)致粒子掉下去.落入硅片表面就會(huì)產(chǎn)生氧化層表面部分凸起。因此應(yīng)提升對(duì)石英管的清理解決及適度拆換脆化的石英管是很須的。
　　實(shí)際操作時(shí)一定堅(jiān)決杜絕水珠噴到石英管中，特別是在在濕氧或水蒸氣氧化時(shí)，當(dāng)溫度過高，發(fā)生爆發(fā)式燒開時(shí)，通常會(huì)將水滴立即噴到石英管中，如落入硅片上，就會(huì)發(fā)生五顏六色斑點(diǎn)。此外清理過的硅片上如殘余水漬，也會(huì)在氧化影片上發(fā)生斑點(diǎn)。
　　如在二氧化硅表面存有黑斑時(shí)，黑斑處的氧化層對(duì)殘?jiān)难诒喂πШ苡锌赡軣o效，因而導(dǎo)致元器件特性下降，若有很大的突起黑斑時(shí)，還會(huì)繼續(xù)導(dǎo)致光刻技術(shù)實(shí)際操作品質(zhì)降低，危害全部芯管生產(chǎn)制造的良品率，因此在生產(chǎn)制造中應(yīng)盡量減少發(fā)生黑斑。

　　氧化層針孔的造成與氧化的方式相關(guān)，一般熱氧化幾乎不造成針孔?？墒羌偃绻杵钠焚|(zhì)不太好，有比較嚴(yán)重的織構(gòu)，而織構(gòu)的地區(qū)又聚集較多的熱擴(kuò)散系數(shù)大的殘?jiān)?，比如，銅、鐵等，在這種地區(qū)就不可以非常好地生長(zhǎng)發(fā)育出二氧化硅層，因此產(chǎn)生氧化層針孔，這種針孔一般人眼不容易發(fā)覺，有時(shí)候也稱埋孔，蔓延時(shí)它能使殘?jiān)糠滞高^，掩蔽無效，進(jìn)而導(dǎo)致元器件走電擴(kuò)大，抗壓減少，乃至離斷，或是導(dǎo)致鋁電級(jí)與二氧化硅層下的地區(qū)短路故障。為了更好地清除針孔，應(yīng)挑選缺點(diǎn)少的光伏材料，而且表面光滑、整平。清理時(shí)要嚴(yán)苛實(shí)際操作，避免重金屬超標(biāo)殘?jiān)K污硅片表面。